| 000 | 00877nam0a22001930a04500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000061775 | ||
| 005 | 20190422142059.0 | ||
| 008 | s1999 xxu 000 0 eng d | ||
| 035 | _a2001062604 | ||
| 050 | 4 |
_aTK7871.85 _bL484L |
|
| 100 | 1 | _aLevinson, Harry J. | |
| 245 | 1 | 0 | _aLithography process control |
| 260 |
_aBellingham, Wash. : _bSPIE Optical Engineering Press, _c1999 |
||
| 300 | _a190 | ||
| 650 | 4 |
_aSEMICONDUCTORS _xETCHING |
|
| 650 | 4 |
_aMICROLITHOGRAPHY _xQUALITY CONTROL |
|
| 991 |
_a09 _b02 _cวิศวกรรมไฟฟ้า / อิเล็กทรอนิกส์ ระบบไมโครโปรเซสเซอร์ การออกแบบวงจรอิเล็กทรอนิกส์ ระบบไฟฟ้ากำลัง (Electrical Power Systems) วิศวกรรมส่องแสง |
||
| 942 |
_2lcc _cBK |
||
| 999 |
_c153929 _d153929 |
||