| 000 | 00861nam0a22001810a04500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000082244 | ||
| 005 | 20190422164215.0 | ||
| 008 | s1996 xxu 000 0 eng d | ||
| 035 | _a2001083463 | ||
| 050 | 4 |
_aTK7871.85 _bC356S |
|
| 100 | 1 | _aCampbell, Stephen A. | |
| 245 | 1 | 4 | _aThe science and engineering of microelectronic fabrication |
| 260 |
_aNew York, N.Y. : _bOxford Univ. Press, _c1996 |
||
| 300 | _a536 | ||
| 650 | 4 |
_aSEMICONDUCTORS _xDESIGN AND CONSTRUCTION |
|
| 991 |
_a09 _b02 _cวิศวกรรมไฟฟ้า / อิเล็กทรอนิกส์ ระบบไมโครโปรเซสเซอร์ การออกแบบวงจรอิเล็กทรอนิกส์ ระบบไฟฟ้ากำลัง (Electrical Power Systems) วิศวกรรมส่องแสง |
||
| 942 |
_2lcc _cBK |
||
| 999 |
_c163799 _d163799 |
||